杨田林

杨田林,男,山东潍坊人,196010月生,博士,教授,硕士生导师,致公党员,中国电子协会高级会员;任山东大学(威海)空间科学与物理学院副院长;学院省级实验教学示范中主任。

招生专业:微电子学与固体电子学

研究方向:

1半导体薄膜材料与器件

主要研究宽禁带半导体光电薄膜材料、薄膜晶体管

2、超硬薄膜材料

主要研究氮化物、碳化物、类金刚石等超硬薄膜

3、光子带隙材料

主要研究光子晶体布洛赫表面波的特性及其应用

E-mail: ytlin@sdu.edu.cn

1.      教授的课程:

本科课程:《半导体物理》、《原子物理》、《普通物理》、《近代物理实验》、《普通物理实验》、《专业物理实验》、《薄膜材料制备技术》、《前沿讲座》等。

研究生课程:《纳米材料》,《薄膜物理》。

2. 研究生情况:

目前指导研究生11人,其中已毕业7人,在读4人。

指导研究生就业单位:

20102人:山东大学(威海)、中科院苏州生物医学工程技术研究所;

20112人:某县科技局、中科院半导体研究所;

20121人:京东方科技集团股份有限公司;

20132人:京东方科技集团股份有限公司、航天科工集团四院17所。

3.      科研情况

完成以及在研的项目、专利获奖情况:

基金项目:

[1]山东省科委项目:柔性衬底透明导电膜制备,2000-2002,第二位,成果登记号:360-01-21310583-02

[2]山东省自然基金:硅基GaN薄膜光电导紫外光探测器的制备与研究,1997.1-1999.12,第三位。No. Y96A12016

[3]国家自然科学基金:有机发光器件的柔性透明电极的制备、微结构和光学特性的研究,2002.12004.12,第二位,No.60176021

[4]山东省科委项目,柔性衬底ZnO:Al透明导电膜制备和光电特性研究,第二位。成果证书登记号:360-01-21310088-04

[5]山东省计委项目:磁控溅射柔性衬底ITO透明导电膜的研究,1997.1-1999.12 No.Y97G03103

[6]国家自然科学基金:有机半导体自旋注入,2007.1-2009.12,第二位,No.60676041

[7]有机发光器件自旋极化电极的制备、微结构和对器件对器件发光特性的影响,2005年,XZ2004001主持,校级。

[8]山东省自然基金:缓冲层在提高透明导电薄膜性能方面的实验与理论研究,2009年,主持,编号ZR2009AM020

[9]山东省自然基金:一维金属-介电型光子晶体的理论及相关实验研究,主持,2008年,编号:Y2008A37

服务地方横向课题:

[1]碳纤维的特性测试与表面改性研究,2009-2012,主持。

[2]溅射法制备SiC薄膜,2007-2010,主持。

[3]微晶硅快速沉积工艺及应用于太阳能电池的研究,2009-2012,主持。

[4]热打印头用薄膜发热体技术开发,2012-2013,主持。

[5]医用钽、氧化钽薄膜的制备及性能检测技术研究,2012-2015

[6]渔具导眼金属支架镀膜工艺开发,2013-2014

学科及教研项目:

[1]校重点学科项目:固体电子学与光电子学,主持。

[2]普通物理实验精品课程,编号:2007107,校级,主持。

[3]省级教学研究项目:大学生科技创新实践平台建设,编号:20091742009年,主持。

获奖及专利:

专利:发明专利一项,<氧化锌掺钇透明导电薄膜及其制备方法>专利号CN101552048A,第一位。

获奖:

[1]200212月,氧化物光电薄膜的研究获教育部提名国家科学技术(自然科学奖)一等奖,第四位。

[2]可调的透明导电薄膜的制备与特性研究,威海市优秀学术成果二等奖,2009年,第一位。

主要研究成果:

1.首次在柔性衬底上制备出AZO透明导电薄膜,单篇文章已被引用191次;

2.制备了氮化锌薄膜,并对其性能进行测试,结束了关于氮化锌禁带类型和宽度的长期争论;

3.制备了ZnO:Y透明导电薄膜,该成果已申请了发明专利;

4.制备了多种金属基复合薄膜和具有不同缓冲层的透明导电薄膜,研究了其结构与光电特性;

5.制备了非晶IGZO薄膜晶体管,研究了器件性能;

发表论文60篇,其中SCI 收录 22篇,EI收录 10篇,最近五年发表的论文如下:

[1] Yanhui Li, Tianlin Yang, Shumei Song, Zhiyong Pang, Guiqiang Du, Shenghao Han, Phase properties of Bloch surface waves and their sensing applications, APPLIED PHYSICS LETTERS 103, 041116 (2013).

[2] TianlinYang,shumei Song, Yanhui Li,Yanqing Xin,Guiqiang Du,Maoshui Lv, Shenghao Han, The enhanced conductivity and stability of AZO thin films with aTiO2 buffer layer, Physica B 407 (2012) 4518–4522. SCI.

[3] Shumei Song, Tianlin Yang, Jingjing Liu, Yanqing Xin, Yanhui Li, Shenghao Han, Rapid thermal annealing of ITO films, Applied Surface Science, Applied Surface Science, 257 (2011) 7061-7064. SCI

[4] Shumei Song, Tianlin Yang *, Maoshui Lv , Yanhui Li, Yanqing Xin , Lili Jiang, Zhongchen Wu,Shenghao Han, Effect of Cu layer thickness on the structural, optical and electrical propertiesof AZO/Cu/AZO tri-layer films, Vacuum, 85 (2010) 39-44. SCI

[5] Shumei Song, Tianlin Yang*, Yanqing Xin, Lili Jiang, Yanhui Li, Zhiyong Pang, Maoshui Lv, Shenghao Han, Effect of GZO thickness and annealing temperature on the structural, electrical and optical properties of GZO/Ag/GZO sandwich films, Current Applied Physics 10 (2010) 452-456. SCI

[6] Shumei Song, Tianlin Yang*, Yanhui Li, ZhiYong Pang, Liang Lin, Maoshui Lv, Shenghao Han, Structural, electrical and optical properties of ITO films with a thin TiO2 seed layer prepared by RF magnetron sputtering. Vacuum, 8320091091-1094.  SCI

[7] Tianlin Yang*, Zhisheng Zhang, Yanhui Li, MaoShui Lv, Shumei Song, Zhongchen Wu, Jincheng Yan, Shenghao Han, Structural and optical properties of zinc nitride films prepared by rf magnetron sputtering, Applied Surface Science , 255 (2009) 3544-3547.  SCI

[8] Tianlin Yang*, Zhisheng Zhang, Shumei Song, Yanhui Li, MaoShui Lv ,

Zhongchen Wu, Shenghao Han, Structural, optical and electrical properties of

AZO/Cu/AZO tri-layer films prepared by radio frequency magnetron sputtering

and ion-beam sputtering, Vacuum, 83 (2009) 257-260. SCI

[9]李帅帅,梁朝旭,王雪霞,李延辉,宋淑梅,辛艳青,杨田林*.高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究*,物理学报Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 7 (2013) 077302. SCI.

[10] 梁朝旭,李帅帅,王雪霞,李延辉,宋淑梅,杨田林*,磁控溅射方法制备非晶IGZO透明导电薄膜.人工晶体学报, 2013, 4151190, EI

[11] 杨田林,宋淑梅,辛艳青,李延辉,杜桂强,韩圣浩,薄膜厚度对ZnO:Y薄膜结构及光电特性影响,人工晶体学报,201241:1190-1194.EI

[12] 杨斌,王连杰,张平,宋淑梅,杨田林*,同质缓冲层厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响, 电子元件与材料 29(2010)25-27.  核心期刊。

[13] 姜丽莉,辛艳青,宋淑梅,杨田林*,李延辉,韩圣浩,快速退火对直流磁控溅射法制备的AZO薄膜性能的影响﹡,真空科学与技术, 2010,30:302-305. (EI)

[14] 杨田林*,张之圣,宋淑梅,李延辉,吕茂水,韩圣浩, 衬底温度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜结构及光电特性的影响,太阳能学报,2009,30: 1209-1212. EI

[15]辛艳青,姜丽莉,宋淑梅,杨田林*, 李延辉, 真空退火温度对GZO/Ag/GZO三层膜性能的影响。电子元件与材料2009,28:32-35,核心期刊。

[16]杨田林*,张之圣,宋淑梅,辛艳青,姜丽莉,李延辉,韩圣浩, GZO/Ag/GZO多层薄膜制备、结构与光电特性的研究,功能材料, 2009,40:1767-1769. (EI)

[17] 张平,王连杰,杨斌,宋淑梅,杨田林* ,薄膜厚度对直流溅射制备AZO薄膜的特性影响* ,光电子技术,核心 2009, 29(4): 261-264.

[18]宋淑梅,杨田林,辛艳青, 姜丽莉,李延辉,庞志勇, ,韩圣浩. 氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究*, 功能材料, 2010411578-1584. (EI)

[19]Fenggong Wang, Maoshui Lv, Zhiyong Pang, Tianlin Yang, Ying Dai, Shenghao Han, Theoretical Study of Structural,Optical and Electrical Properties of Zirconium-Doped Zinc Oxide, Applied Surface Science 254 (2008) 6983-6986. SCI

[20]L. Lin, Z.Y. Pang, F.G. Wang, M.S. Lv, T.L. Yang, L.N. Ye, S.H. Han*,The origination of ill-defined layer in organic spin valves, Applied Surface Science, 255 (2009) 5682–5685, SCI.

[21]Liu Han-Ping, LU Fei, Wang Xue-Lin, YANG Tian-lin, LV Ying-Bo, LI Yan-Hui, Analysis and Determination of Refractive Index Profiles of O2+ Ion-Implanted LiNbO3 Planar Waveguide Using Etching and Ellipsometry Techniques, Chinese physics letters. 2008, 25:156. SCI